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15
Jun
洁净室设计施工技术指南：万级洁净车间的标准与温湿度控制要点
洁净室作为半导体、生物医药、食品饮料等行业生产环境的核心基础设施，其设计施工质量直接关系到产品质量与生产安全。蔚力迪团队基于多年洁净室工程经验，为您详细解读万级洁净车间的设计标准与温湿度控制要点。
万级洁净室（ISO Class 7）是指空气中粒径≥0.5μm的粒子浓度不超过352,000粒/m³的洁净空间。设计时需综合考虑换气次数（通常≥25次/小时）、FFU覆盖密度、气流组织形式以及压差梯度控制等因素。合理的平面布局与气流组织设计是确保洁净度均匀性的关键。
温湿度控制的核心技术要点
洁净车间温湿度控制需满足：温度22±2℃、相对湿度45±10%RH的标准范围。关键控制措施包括：选用低漏率组合式空调机组配合深度除湿技术；设置独立的新风处理系统满足正压需求；配置露点温度传感器与高精度控制器实现实时监测与自动调节；同时需做好围护结构的热桥防护与气密性处理，避免外界环境对室内温湿度的干扰。
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